手持x射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點。它能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃材質等行業(yè)樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長分開，分別測量不同波長的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。確保無放射性，多種可選擇的濾波器。可即時傳送、讀數(shù)，其主要部件是一根微小的X射線管和高分辯率探測器。從而確保分析檢測質量，測試時間可在20秒內完成。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，手持x射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。
手持x射線熒光光譜儀的一般測試步驟是：選擇分析方法，樣品制備，儀器參數(shù)選擇與校準曲線的制作，試樣分析。分析儀的主操作控制軟件控制光譜儀的運行和定性定量分析數(shù)據的處理。SuperQ先匯編各測量參數(shù)，再依次巡查光學電學條件、校正系數(shù)，后自動匯編建成定性或定量分析測量程序。
以全程掃描為定性分析的基礎，用13個合成（解釋:由幾個部分合并成一個整體)的參考樣品建立掃描程序獲得的測量強度，以此作為定量分析的依據；適用于分析范圍很寬的固體、粉末和液體試樣的快速無標樣近似定量分析。
